团队负责人：刘涛

依托单位：西安交通大学

所在学院：机械学院

一、项目简介

图1白光干涉仪

仪器测量范围能实现从超光滑表面粗糙度到200 um的台阶；表面反射率从0.5%~99.9%的样品均可适用；满足2~12英寸硅片或晶圆等的无损检测。

二、仪器特点

Ø全部采用国产化的系统设计

Ø采用国产化的白光干涉物镜

Ø光源采用LED白光照明光源，适用寿命长，或者采用外置特种光源

Ø测量模式：采用VSI和PSI两种测量模式，适应于不同的表面测量需求

Ø依据面粗糙度标准ISO25178,线粗糙度标准ISO4287,平整度标准ISO12781

Ø检测精度高，Z分辨率0.1~1 nm，精度20~50 nm

Ø被测表面反射率从0.5%~99.9%

Ø可实现单视场的三维检测，也可实现大范围的三维拼接检测

Ø最大可检测12英寸晶圆

Ø图像分辨率达200万像素

三、软件介绍

Xshape-I系列白光干涉仪配备WLI白光干涉分析软件，软件依据面粗糙度标准ISO25178,线粗糙度标准ISO4287,以及几何技术规范ISO12781。

软件集成自动化控制，图像采集以及数据处理与测量功能，采用VSI和PSI两种表面三维形貌算法，可以满足于各种微纳表面三维轮廓的检测，例如：机械加工的粗糙面，研磨抛光或者腐蚀的表面，光刻表面，晶圆表面，光学抛光表面，纳米压痕表面等。

软件特点：

1.软件操作简便，易学易用，实用性强

2.包括VSI和PSI两种三维形貌检测算法

3.可以方便快捷检测多种类型表面的形貌相关参数

4.具有自动三维图像拼接功能

软件功能：

1.相机打开，以及相机的参数设置

2.物镜扫描器的设置以及控制

3. XY工作台以及Z轴调焦的移动控制与设定

4.软件具有VSI和PSI两种算法功能，以针对不同形貌表面的检测

5.软件采集图像完成后可自动计算出表面三维形貌

6.自动计算出面粗糙度参数。划线选择分析截面的位置，计算出截面位置的轮廓参数

7.可测量单一视场的三维形貌，也可通过图像拼接实现大范围的三维形貌检测

8.软件有图像的调整，滤波，轮廓提取，噪声拟制等数据处理功能

9.表面三维形貌的解包裹，以及三维形貌的调平

10.三维轮廓截面的提取，以及形貌的参数的检测

图2软件界面

图3检测案例

四、技术成熟度

□概念验证 □原理样机 √工程样机 □中试 □产业化

五、合作方式

□联合研发 □技术入股 □转让 □授权（许可） √面议